光刻实习报告

光刻实习报告篇一：实习报告1

阶段性生产实习报告

不知不觉地大三又准备结束了，瞬间感觉时间飞逝。这不，我们大三的生产实习也开始了，我们在陈长琦等老师的带领下，顺利地完成了生产实习。众所周知，实践是检验真理的唯一标准。任何经不住实践检验的东西都是站不住脚的。实践出真知，只有通过实践，我们才能知道自己到底掌握了多少有用的知识，清楚自己肚子里究竟有多少墨水，才能更清楚地了解自己，及时发现不足，为以后的奋斗确定更加坚定的目标。实践，就是把我们在学校所学的理论知识，运用到客观实际中去，使自己所学的理论知识有用武之地。只学不实践，那么所学的就等于零。理论应该与实践相结合。另一方面，实践可为以后找工作打基础。通过这段时间的实习，学到一些在学校里学不到的东西。因为环境的不同，接触的人与事不同，从中所学的东西自然就不一样了。要学会从实践中学习，从学习中实践。而且在中国的经济飞速发展，又加入了世贸，国内外经济日趋变化，每天都不断有新的东西涌现，在拥有了越来越多的机会的同时，也有了更多的挑战，前天才刚学到的知识可能在今天就已经被淘汰掉了，中国的经济越和外面接轨，对于人才的要求就会越来越高，我们不只要学好学校里所学到的知识，还要不断从生活中，实践中学其他知识，不断地从各方面武装自己，才能在竞争中突出自己，表现自己。实习的过程更是自己的一次重要的知识积累过程，不积跬步，无以至千里；不积小流，无以成江海。只有厚积，方能薄发。

5月20日，就在这一天早上，我们集体去了中国科学技术大学里面的国家同步辐射实验室。这是我们第一次来这里。国家同步辐射实验室坐落在安徽合肥中国科技大学西校园中，这是国家计委批准建设的我国第一个国家级实验室。

实验室拥有的同步辐射光源是目前国内高校中唯一一

台大科学装置和国家级实验研究平台。国家同步辐射

实验室建有中国第一台以真空紫外和软X射线为主的

专用同步辐射光源。其主体设备是一台能量为800MeV、

平均流强为100~300mA的电子储存环，用一台能量

200MeV的电子直线加速器作注入器。来自储存环弯铁

和扭摆磁铁的同步辐射特征波长分别为2.4nm和

0.5nm。同步辐射是一种强度大、亮度高、频谱连续、

方向性及偏振性好、有脉冲时间结构和洁净真空环境

的优异的新型光源，可应用于物理、化学、材料科学、

生命科学、信息科学、力学、地学、医学、药学、农

学、

环

境

保护、计量科学、光刻和超微细加工等

众多基础研究和应用研究领域。国家同

步辐射实验室现建有X射线光刻、红外

与远红外、高空间分辨X射线成像、X射

线衍射与散射、扩展X光吸收精细结构、

燃烧、X射线显微术、原子与分子物理、真空紫外分析、表面物理、软X射线磁性圆二色、光电子能谱、真空紫外光谱、光声与真空紫外圆二色光谱、光谱辐射标准与计量等15条光束线和相应的实验站。我们在工大师兄的带领下，参观了里面的很多实验室，包括同步辐射实验室，衍射光学元件精密加工实验室和微纳加工与制造中心等等。其中微纳研究与制造中心是集微米、纳米加工、制造和检测手段于一体，能够承载前沿、交叉学科领域创新研究和先进制造的支撑平台。师兄一路上不嫌其烦给我们讲解，耐心地回答我们的提问。里面不愧是搞科研的好地方，各种实验设备一应俱全，在国内来说都是比较先进的。里面用到了各种真空泵，其中最重要的就数分子泵了，和我们真空技术专业息息相关，我觉得里面是我们考研的好地方，可以更加深入学习相关理论和专业知识。经过这一天的参观实习，我们更加深入了解真空科研的先进前沿。

第二次参观的地点是合肥精大仪表股份有限公司和安徽万瑞冷电科技有限公司。这一次也是陈长琦老师、王旭迪老师、王国栋老师和褚向前老师带领我们去参观的。公司里面也有好多我们的师兄在里面工作，所以在里面可以接触到比较多的产品和一些相关技术。首先来说说合肥精大仪表股份有限公司吧。合肥精大仪表股份有限公司是一家现代高科技股份制企业，是由原国家大型二档企业合肥仪表总厂改制而成。多年来，公司在“团结奋进、强化管理、精铸精大、再创名牌”的经营方针指导下，依靠科技进步，以科技创新、产品创新、质量创新、服务创新为己任，不断地加大了创新投入。其中椭圆齿轮流量计、螺旋转子流量计、腰轮流量计等产品的技术水平，已处于同行业领

先地位；气体、液体涡轮流量计、LPG液化石油

气加气机、CNG天然气加气机、微机控制系统、

各种电子仪表等产品的市场规模、份额也在逐年

增大，并得到了顾客广泛好评。近年来，公司先

后购买了20余台大型专业数控加工设备；建立、

完善了金蝶K3 ERP系统、OA办公系统、PDM图

档管理系统等一系列软件系统，有效提高了公司

的管理水平。公司在自身实力提升的同时，也取

得了很好的社会效益。1998年，公司通过了

ISO:9001质量体系认证；2001年我公司被安徽

省科委认定为“高新技术企业”； “安徽省质

量管理奖企业”；2002年我公司“智能化涡街流

量计”被省发改委列为“安徽省高新技术产业化示范项目”；2005年我公司精大牌椭圆齿轮、涡街流量计荣获安徽省名牌产品；“精大牌”商标被省工商局授予“安徽省著名商标”；同年11月，我公司新型能源计量器具研发，被安徽省中小企业发展局列为“安徽省中小企业促进工程重点项目”。该公司是目前国内流量仪表最大专业制造商，产品已覆盖全国29个省市自治区和20多个国家、地区，产品的出口也在逐年大幅递增。在该公司，我们听了相关负责人的介绍公司的境况，大家都听得挺认真的，不是同学都用记录本做下了相关的笔记。接着我们参观了公司的装配车间，里面主要有罗茨泵的转子，看着工人在装配罗茨泵，我们对罗茨泵的认识又更深入了一步。理论知识要应用于实践才能显示出它的应用能力，理论是从实践中总结出来的，还要用回到实践中

去，在做的过程中还要注意总结，继而升华相

关的理论知识。早上天气炎热，不过大家都并

不在意，在参观的过程中大家也积极问师兄和

工人们一些问题，收获颇丰！

接着我说说参观安徽万瑞冷电科技有限

公司的一些相关情况吧。安徽万瑞冷电科技有限公司是一家专业从事低温制冷、低温真空设备及系统研发和生产的高新技术企业。公司成立于2003年，以中国电子科技集团公司第十六研究所原低温真空研发部门为主体改制组建而成，通过数年来持续地努力和提高，已成为本行业最具实力的企业之一。公司在低温、真空领域具有很强的研发和生产能力，拥有低温、制冷、真空、机械、电子等专业中、高级人才100余人，并配备了完善的机械加工、过程处理和检测仪器设备，在低温真空、低温气体分离、气体回收纯化、环境模拟装置等领域的研发和系统集成技术方面居于国内领先水平。公司产品已成功应用于国家探月工程、北京正负电子对撞机、国防军工等国家重大科技专项，及半导体、IC生产等行业。安徽万瑞冷电科技有限公司奉行“活力、高效、创新”的企业精神，以 “世界低温制冷行业名牌企业”为发展目标。该公司的经理很热情，带我们参观了车间，看了一些他们的最新产品，发现他们做的设备都相对比较大。其中低温制冷和我们大四上学期的开设的专业课密切相关。经过这次参观，扩展了我们的视野，懂得了我们所学的必须要运用到实际中才能转化为生产力，才能为企业创造利润，为国家的经济发展贡献自己的一份力。

我们第三次参观的地点是安徽正远包装科技有限公司。里面的工作人员都非常热情地招待我们。安徽正远包装科技有限公司原名合肥正远机械电子有限责任公司，成立于1995年，公司坐落于合肥市庐阳产业园，占地50亩，建筑面积约1万平方米。公司经过十多年发展，凭着对先进技术的不断探索、研究和应用，发挥人才优势，不断壮大，迅速成为茶叶包装机、种子包装机、洗衣粉包装机、食盐包装机、面

粉包装机、奶粉包装机、大米包装机、杂粮包

装机、休闲食品包装机、冷冻食品包装机、火

锅多种底料配料包装机、炸药包装机、颗粒包

装机、粉料包装机、液体包装机、计数包装机、

二次包装机、真空包装机、灌装机、农医药化

工包装机械行业的龙头企业。以及重量选别机、

金属探测仪、输送机、提升机和整条物流、生

产输送包装线的设计与开发。其计量充填包装

技术处于国内领先水平。公司将以“建国际一

流企业，创世界知名品牌”为目标，锐意进取、

不断创新、为全球的包装自动化提供最完美的

解决方案。一路上，工作人员都不厌其烦地给

我们进行详细的讲解，积极回答我们提的问题。

其中，我们也和陈长琦老师进行了深入的交流，探讨毕业以后的去向。是啊，海阔凭鱼跃，天高任鸟飞，是真金就不拍火来炼，能走多远，就看你有多大的本事了。

终于等到这一天了，5月27日，我们去参观了合肥江淮汽车制造厂。这次我们是自己打车过去的。看得出来，大家都满怀期待。合肥江淮汽车制造厂隶属于安徽江淮汽车集团有限公司，发展战略是坚持致力于中国民族汽车工业的进步，立足自主创新，发展自主品牌，

将江汽集团公司建设成具有国际竞争力的中

国汽车业主力厂商；坚持以商用车为基础，

巩固和发展在商用车细分市场的领先地位，

成功拓展乘用车业务；深入学习“精益生产

方式”，发展安全、环保、经济的汽车产品

和资源节约型的制造技术，将JAC培育成世

界级品牌；到2010年，江汽集团公司将发展

成为产品系列齐全、整车生产能力达到50～

60万辆，销售收入达到420～500亿元的综合型、大型汽车集团。制造厂主要负责汽车各种零部件的制造和组装。在里面我们看到了一条条的生产流水线，工人们都在兢兢业业的工作，不过生产车间噪音倒是挺大的，而装配车间稍微好一点。可以看出来工人们也挺辛苦的。令人遗憾的是没有看到全自动的生产流水线和汽车机器人。江淮在合肥可以来说是汽车的领头羊了，是我国客车、客车专用底盘、重中轻型载货汽车和商务车定点生产企业。真心希望江淮能以民族品牌一直走下去，能开拓尽可能大的市场。

又是新的一天，今天我们参加的企业比较特殊，它是我们师兄创办的企业—安徽嘉硕真空科技有限公司。这次终于不是我们打车过去了，学校包车，比较方便。安徽嘉硕真空科技有限公司是一家专业从事真空产品研发、生产、

销售的高新科技型企业。坐落于安徽省合肥市国

家级经济技术开发区内。公司拥有一批科研开发、

产品设计、生产制造的技术骨干并且长期和中科

大、合工大等国内众多高校进行技术合作，并从

中积累了丰富的设备制造经验。专业涵盖真空技

术、纳米材料科学、工业自动化技术、电力电子

技术、机械设计、环保设备、工控检测等领域。

公司可为客户提供多样化真空镀膜系统设计方

案。超高真空磁控溅射镀膜机和JSDY系列磁控

溅射靶技术，可以灵活地实现共溅射沉积、多层

膜沉积、绝缘薄膜以及化合物薄膜制备，能够满

足不同领域薄膜制备的要求。在标准配置基础上，

本公司可以根据客户的需求，订制专门用途的镀

膜机、小型便携镀膜仪、测膜仪、检测仪器。在

里面我们跟随师兄参观了他们的生产车间和装配

车间。同学们都非常积极地问师兄一些和专业相

关的问题，师兄就是师兄，解释得就是言简意赅。

里面有各种真空镀膜机，在里面我们首次接触到

了分子泵机组，终于揭开了分子泵的真面目。而

且该公司还与中科大、合工大等高校有技术合作，

产品直接销售给上海交通大学和香港科技大学等

高校。感觉师兄在这么短的时间内能有这般成就，

实属不易啊。希望师兄的企业能越办越好，更上

一层楼。

参观完了之后，接着我们参观了合肥锻压股份有限公司。合肥合锻机床股份有限公司位于合肥经济技术开发区，公司前身为合肥锻压机床总厂，始建于1951年，为专业从事锻压设备生产、销售的国有大型企业。2010年公司变更

为股份有限公司。合锻股份是集液压机、机械压力

机等各类高精专机床产品研发、生产、销售和服务

为一体的大型装备制造企业。是我国大型锻压设备

自动化成套技术与装备产业化基地，属于国家数控

成形冲压装备产业技术创新战略联盟成员单位、国

家火炬计划重点高新技术企业。产品广泛应用于汽

车、家电、军工、航空航天、石化、新材料应用等

领域，自主开发的大型数控成形机床数字化设计技

术，自动化控制技术，机电液一体化技术，伺服控制技术，大型超大型部件加工制造技术，智能成套设备解决方案及安装调试技术等达到国内领先水平。合锻主研的多项国家级尖端装备，先后应用于飞机、神舟飞船、天宫火箭、核电、高铁，以及国家“跃升计划”的科研领域，市场占有率基本保持在29%-32%。近五年来，公司在致力于自身技术进步的同时，敢于担当行业责任，凭借液压机国家标准起草单位以及液压机标准化委员会副主任委员单位的身份，主持制修订国家标准3项、行业标准6项，另外正在主持或参与制修订行业标准10余项；连续承担4项国家“高档数控机床与基础制造装备”科技重大专项课题，另外承担了包括国家863计划、火炬计划、重点新产品计划等在内的其它科技计划近20项，获得国家专利近百项。 “十二五”期间，合锻股份将按照国家 “发展高端装备制造业” 的要求，积极推进自主创新，不断提升技术水平，与国际最新技术保持同步发展；同时，依靠技术和品牌优势，积极拓展国际市场，以实施一系列国际水平的重点项目为契机，全面提升产品质量和管理水平，培育国际知名品牌，为“十二五”期间机床行业由大变强，提高国家核心竞争力做出贡献。在这里，我们第一次看到这么庞大的机床。各种车床，锻床，应有尽有。我觉得经过这次参观实习，真正地拓宽了我们的视野。更加激励我们艰苦学习，刻苦专研，只有不怕艰苦勇于攀登的人，才有希望达到光辉的顶点。

5月29日，今天太阳挺大的，不过我们同学都不怕，准时到了合肥京东方光电科技有限公司。公司位于合肥市新站综合开发试验区的合肥京东方光电科技有限公司成立于2008年10月，总投资175亿元人民币，是由京东方科技集团股份有限公司与合肥市共同投资设立的，国内第一条第六代液晶显示器件（TFT-LCD）生产线，是一家研发、设计、生产、销售电视、显示器用TFT-LCD显示屏的高科技企业。

作为京东方集团全资控股子公司，合肥京东方自

主建设了国内首条第六代TFT-LCD生产线，包括

阵列、彩膜、成盒和模组等全部工序。该生产线

的主要产品为37英寸及以下电视机、显示器用

液晶面板屏，计划于2010年4季度全面投产，

投产后将填补大陆在液晶显示领域没有六代线

的历史，将结束大陆液晶显示器件长期依赖外购

的现状。达产后每月生产玻璃基板产能为90K片

（可扩产至120K），包括阵列、彩膜、成盒和模

组等全部工序。主要用于37英寸及以下电视机、

电脑等的显示器，年销售收入预计超过120亿。

合肥京东方光电有限公司是国内第一家拥有

TFT-LCD第六代生产线的大型显示器件生产企业，将具有广阔的市场前景；拥有广阔的发展空间。京东方集团提倡：团队、速度、品质。努力工作将是京东方成功达成目标的重要因素，在从今开始的职业生涯中，同合肥京东方光电一起拼搏、一起成长、一起收获。在京东方我们参观了他们的高科技显示屏，还体验了3D电视。非常希望中国可以拥有更多的自主知识产权，用我们的知识去创造和改善国民生活。

这中途因为遇上了考试周，所以生产实习停了接近两周那样。6月15日，我们又开始了，这一次去的是合肥通用机械研究院。在那里，我们受到了他们的热烈欢迎。里面的工作人员首先给我们开了一个讲座，让我们对合肥通用机械研究院有基本的了解。合肥通用机械研究院已于2010年11月20日更名为中国通用机械研究院有限公司。合肥通用机械研究院（原合肥通用机械研究所）是直属中国机械工业集团公司的多专业综合性国家一类科研院所。全院占地面积30万平方米，固定资产近7000万元，下设工程部、研究所、合（独）资公司。主要从事石油化工、化肥、电站、环保、燃气、船舶等行业通用机械、化工设备及专用机电

光刻实习报告篇二：工艺实习报告

CMOS工艺流程

电科1101班 钟文斌 3110209129 CMOS工艺流程主要步骤：

晶体的生长

晶体切片成 wafer

晶圆制作

功能设计 模块设计 电路设计 版图设计 制作光罩

工艺流程

1) 表面清洗

晶圆表面附着一层大约2um的Al2O3和甘油混合液保护之,在制作前必须进行化学刻蚀和表面清洗。

2) 初次氧化

有热氧化法生成SiO2 缓冲层，用来减小后续中Si3N4对晶圆的应力 氧化技术

干法氧化 Si(固) + O2 à SiO2(固)

湿法氧化 Si(固) +2H2O à SiO2(固) + 2H2

干法氧化通常用来形成，栅极二氧化硅膜，要求薄，界面能级和固定电荷密度低的薄膜。干法氧化成膜速度慢于湿法。湿法氧化通常用来形成作为器件隔离用的比较厚的二氧化硅膜。当SiO2膜较薄时，膜厚与时间成正比。SiO2膜变厚时，膜厚与时间的平方根成正比。因而，要形成较 厚的SiO2膜，需要较长的氧化时间。SiO2膜形成的速度取决于经扩散穿过SiO2膜到达硅表面的O2及OH基等氧化剂的数量的多少。湿法氧化时，因在于OH基在SiO2膜中的扩散系数比O2的大。氧化反应，Si 表面向深层移动，距离为SiO2膜厚的0.44倍。因此，不同厚度的SiO2膜，去除后的Si表面的深度也不同。SiO2膜为透明，通过光干涉来估计膜的厚度。这种干涉色的周期约为200nm，如果预告知道是几次干涉，就能正确估计。对其他的透明薄膜，如知道其折射率，也可用公式计算出(d SiO2) / (d ox) = (n ox) / (n SiO2)。SiO2膜很薄时，看不到干涉色，但可利用Si的疏水性和SiO2的亲水性来判断SiO2膜是否存在。也可用干涉膜计或椭圆仪等

测出。SiO2和Si界面能级密度和固定电荷密度可由MOS二极管的电容特性求得。(100)面的Si的界面能级密度最低，约为10E+10-- 10E+11/cm –2 .e V -1 数量级。(100)面时，氧化膜中固定电荷较多，固定电荷密度的大小成为左右阈值的主要因素。

3) CVD(Chemical Vapor deposition)法沉积一层Si3N4(Hot CVD或LPCVD)。 1 常压CVD (Normal Pressure CVD)

NPCVD为最简单的CVD法，使用于各种领域中。其一般装置是由(1)输送反应气体至反应炉的载气体精密装置；(2)使反应气体原料气化的反应气体气化室；

(3)反应炉；(4)反应后的气体回收装置等所构成。其中中心部分为反应炉，炉的形式可分为四个种类，这些装置中重点为如何将反应气体均匀送入，故需在反应气体的流动与基板位置上用心改进。当为水平时，则基板倾斜；当为纵型时，着反应气体由中心吹出，且使基板夹具回转。而汽缸型亦可同时收容多数基板且使夹具旋转。为扩散炉型时，在基板的上游加有混和气体使成乱流的装置。 2 低压CVD (Low Pressure CVD)

此方法是以常压CVD 为基本，欲改善膜厚与相对阻抗值及生产所创出的方法。主要特征：(1)由于反应室内压力减少至10-1000Pa而反应气体，载气体的平均自由行程及扩散常数变大，因此，基板上的膜厚及相对阻抗分布可大为改善。反应气体的消耗亦可减少；(2)反应室成扩散炉型，温度控制最为简便，且装置亦被简化，结果可大幅度改善其可靠性与处理能力(因低气压下，基板容易均匀加热)，因基可大量装荷而改善其生产性。

3 热CVD (Hot CVD)/(thermal CVD)

此方法生产性高，梯状敷层性佳(不管多凹凸不平，深孔中的表面亦产生反应，及气体可到达表面而附着薄膜)等，故用途极广。膜生成原理，例如由挥发性金属卤化物(MX)及金属有机化合物(MR)等在高温中气相化学反应(热分解，氢还原、氧化、替换反应等)在基板上形成氮化物、氧化物、碳化物、硅化物、硼化物、高熔点金属、金属、半导体等薄膜方法。因只在高温下反应故用途被限制，但由于其可用领域中，则可得致密高纯度物质膜，且附着强度极强，若用心控制，则可得安定薄膜即可轻易制得触须(短纤维)等，故其应用范围极广。热CVD法也可分成常压和低压。低压CVD适用于同时进行多片基片的处理，压力一般控制在

0.25-2.0Torr之间。作为栅电极的多晶硅通常利用HCVD法将SiH4或Si2H。气体热分解（约650 oC）淀积而成。采用选择氧化进行器件隔离时所使用的氮化硅薄膜也是用低压CVD法，利用氨和SiH4 或Si2H6反应面生成的，作为层间绝缘的SiO2薄膜是用SiH4和O2在400 --4500 oC的温度下形成

SiH4 + O2 –-SiO2 + 2H2或是用Si(OC2H5)4 (TEOS: tetra – ethoxy – silanc )和O2在750 oC左右的高温下反应生成的，后者即采用TEOS形成的SiO2膜具有台阶侧面部被覆性能好的优点。前者，在淀积的同时导入PH3 气体，就形成 磷硅玻璃（PSG： phosphor – silicate –glass）再导入B2H6气体就形成

BPSG(borro – phosphor –silicate –glass)膜。这两种薄膜材料，高温下的流动性好，广泛用来作为表面平坦性好的层间绝缘膜。

4 电浆增强 CVD (Plasma Enhanced CVD)

NPCVD 法及LPCVD 法等皆是被加热或高温的表面上产生化学反应而形成薄膜。PECVD是在常压CVD或LPCVD的反应空间中导入电浆(等离子体)，而使存在于空间中的气体被活化而可以在更低的温度下制成薄膜。激发活性物及由电浆中低速电子与气体撞击而产生。光 CVD (Photo CVD)PECVD 使薄膜低温化，且又产生如A-Si般的半导体元件。但由于薄膜制作中需考虑：(1)在除去高温(HCVD)及PECVD时掺入元件中的各种缺陷(如PECVD中带电粒子撞击而造成的损伤)；(2)不易制作的元件(不纯物剖面)，不希望在后面受到工程高温处理被破坏，因此希望可于低温中被覆薄膜。PCVD是解决这此问题的方法之一。 遇热分解时，因加热使一般分子的并进运动与内部自由度被激发(激发了分解时不需要的自由度)，相对的，在PCVD 中，只直接激发分解必须的内部自由度，并提供活化物促使分解反应。故可望在低温下制成几无损伤的薄膜且因光的聚焦及扫描可直接描绘细线或蚀刻。

5 MOCVD (Metal Organic CVD) &分子磊晶成长(Molecular Beam Epitaxy) CVD 技术另一重要的应用为MOCVD，此技术与MBE(Molecular Beam Epitaxy) 同为：(1)成长极薄的结晶；(2)做多层构造；(3)多元混晶的组成控制；(4)目标为化合物半导体的量产。此有装置有下列特征：(1)只需有一处加热，装置构造简单，量产装置容易设计；(2)膜成长速度因气体流量而定，容易控制；(3)成长结晶特性可由阀的开头与流量控制而定；(4)氧化铝等绝缘物上可有磊晶成长；

(5)磊晶成长可有选择，不会被刻蚀。相反地亦有：(1)残留不纯物虽已改善，但其残留程度极高；(2)更希望再进一步改良对结晶厚度的控制；(3)所用反应气体中具有引火性、发水性，且毒性强的气体极多；(4)原料价格昂贵等缺点。多层布线间的层间绝缘膜的沉积，以及最后一道工序的芯片保护膜的沉积必须在低温下(450 C 以下)下进行，以免损伤铝布线。等离子CVD 法就是为此而发明的一种方法。

6 外延生长法(LPE)

外延生长法(epitaxial growth)能生长出和单晶衬底的原子排列同样的单晶薄膜。在双极型集成电路中，为了将衬底和器件区域隔离(电绝缘)，在P型衬底上外延生长N型单晶硅层。在MOS集成电路中也广泛使用外延生长法，以便容易地控制器件的尺寸，达到器件的精细化。此时，用外延生长法外延一层杂质浓度低(约10 15 cm-3)的供形成的单晶层、衬底则为高浓度的基片，以降低电阻，达到基极电位稳定的目的。LPE可以在平面或非平面衬底生长、能获得十分完善的结构。LPE可以进行掺杂，形成n-和p-型层，设备为通用外延生长设备，生长温度为300 oC-900 oC，生长速率为0.2um-2um/min，厚度0.5um-100um，外延层的外貌决定于结晶条件，并直接获得具有绒面结构表面外延层。

4) 涂敷光刻胶

光刻制造过程中，往往需采用20-30道光刻工序，现在技术主要采有紫外线(包括远紫外线)为光源的光刻技术。光刻工序包括翻版图形掩膜制造，硅基片表面光刻胶的涂敷、预烘、曝光、显影、后烘、腐蚀、以及光刻胶去除等工序。

(1)光刻胶的涂敷

在涂敷光刻胶之前，将洗净的基片表面涂上附着性增强剂或将基片放在惰性气体中进行热处理。这样处理是为了增加光刻胶与基片间的粘附能力，防止显影时光刻胶图形的脱落以及防止湿法腐蚀时产生侧面腐蚀(side etching)。光刻胶的涂敷是用转速和旋转时间可自由设定的甩胶机来进行的。首先、用真空吸引法将基片吸在甩胶机的吸盘上，将具有一定粘度的光刻胶滴在基片的表面，然后以设定的转速和时间甩胶。由于离心力的作用，光刻胶在基片表面均匀地展开，多余的光刻胶被甩掉，获得一定厚度的光刻胶膜，光刻胶的膜厚是由光刻胶的粘度

和甩胶的转速来控制。所谓光刻胶，是对光、电子束或X线等敏感，具有在显影液中溶解性的性质，同时具有耐腐蚀性的材料。一般说来，正型胶的分辩率高，而负型胶具有高感光度以及和下层的粘接性能好等 特点。光刻工艺精细图形(分辩率，清晰度)，以及与其他层的图形有多高的位置吻合精度(套刻精度)来决定，因此有良好的光刻胶，还要有好的曝光系统。

(2)预烘 (pre bake)

因为涂敷好的光刻胶中含有溶剂，所以要在80C左右的烘箱中在惰性气体环境下预烘15-30分钟，去除光刻胶中的溶剂。

(3)曝光

将高压水银灯的g线(l=436 nm), i线(l=365nm)通过掩模照射在光刻胶上，使光刻胶获得与掩模图形同样的感光图形。根据曝光时掩模的光刻胶的位置关系，可分为接触式曝光、接近式曝光和投影曝光三种。而投影曝光又可分为等倍曝光和缩小曝光。缩小曝光的分辩率最高，适宜用作加工，而且对掩模无损伤，是较常用的技术。缩小曝光将掩模图形缩小为原图形的1/5-1/10，这种场合的掩模被称为掩模原版(reticle)。使用透镜的曝光装置，其投影光学系统的清晰度R和焦深D 分别用下式表示：

R=k1 λ/NA

D=k2 λ/(NA) 2

λ 曝光波长

NA 透镜的数值孔径

k1、k2 为与工艺相关的参数，k1(0.6-0.8), k2(0.5)

由此可知：要提高清晰度(R变小)，必须缩短波长，加大透镜数值孔径。随着曝光波长的缩短，清晰度得到改善，但是焦深却变短，对光刻胶表面平坦度提出了更严格的要求，这是一个很大的缺点。通常采用的高压水银灯，还有比高压水银灯I-line波长短的远紫外线准分子激光器(excimer laser,

KrF:248nm,ArF:193nm)为曝光光源。为了 解决上述所提到的缺点，用比光的波长更短的X线(l=1-10nm)作为曝光光源，技术上有很大的进展，利用X线和电子束进行光刻时，其焦深较深，对表面平坦度没有苛刻的要求。

接近式曝光技术为光罩掩模与基板相互靠近保持较近的间隙(gap)，以UV

光刻实习报告篇三：实习报告

安徽国祯环保节能科技股份有限公司 安徽国祯环保节能科技股份有限公司是

安徽省第一家集污水治理、固体废物资源化等

为一体的大型环保科技股份制企业。是中国环

境保护产业骨干企业、国家火炬计划重点高新

技术企业和首批安徽省创新型企业，已通过

ISO9001质量管理体系认证和ISO14001环境

管理体系认证。2009年底，国祯环保与世界

500强公司——日本丸红株式会社签订股权合

作协议，成为战略合作伙伴。国祯环保承担并

完成了国家高新技术研发计划（863计划）“十

五”重大科技专项（2004AA601060）“

城市污水氧化沟处理工艺的设备成套化研究

”项目，主持并参与制定 “倒伞型表面曝气机”等6项行业标准，拥有发明专利和实用新型专利22项；安徽省污水处理工程技术研究中心落户国祯环保；拥有甲级工程设计资质的国祯环保设计研究院，在市政及工业废水处理、固体废弃物处理等方面具有丰富的设计经验和业绩。国祯环保已成功承建50多项污水处理工程；参与建设300多项污水处理工程；管理运营不同工艺的40多座污水处理厂，运营规模200多万吨/日，服务人口800多万和服务面积1000多平方公里。

国祯环保拥有国内唯一的5-40万吨/日城市

污水处理成套设备国产化生产基地；自主研发的

氧化沟关键设备——大功率倒伞型表面曝气机

充氧能力超过国家行业标准10%以上，达到国

际先进水平，系列产品生产能力、技术水平、市

场占有率均居国内首位，产品不仅销往除西藏、

台湾外的全国各地，还远销欧洲、非洲及东南亚

地区。“(转 载 于:wWw.HnnsCY.cOM 博文学习网:光刻实习报告)双龙’’牌曝气设备荣获“安徽省名牌产品”

和“中国名牌产品”称号。国祯环保业已形成从环

境工程设计咨询到工程承包与工程建设，从产品

研发制造到设备集成，从污水处理设施托管运营到BOT、TOT项目运作等完整的污水处理产业链，多次荣获“知名水务企业”、“中国水业十大影响力企业” 、优秀设备厂商和中国水业十大优秀服务机构等称号。

中科大国家同步辐射实验室

国家同步辐射实验室坐落在安徽合肥

中国科技大学西校园中，这是国家计委批

准建设的我国第一个国家级实验室。实验

室拥有的同步辐射光源是目前国内高校中

唯一一台大科学装置和国家级实验研究平

台。

国家同步辐射实验室建有中国第一台

以真空紫外和软X射线为主的专用同步辐

射光源。其主体设备是一台能量为

800MeV、平均流强为100~300mA的电子储存环，用一台能量200MeV的电子直线加速器作注入器。来自储存环弯铁和扭摆磁铁的同步辐射特征波长分别为2.4nm和0.5nm。

国家同步辐射实验室现建有X射线光刻、红外与远红外、高空间分辨X射线成像、X射线衍射与散射、扩展X光吸收精细结构、燃烧、X射线显微术、原子与分子物理、真空紫外分析、表面物理、软X射线磁性圆二色、光电子能谱、真空紫外光谱、光声与真空紫外圆二色光谱、光谱辐射标准与计量等15条光束线和相应的实验站。

本实验室主要科研方向有如下几个

方面: 1.结合国家同步辐射实验室二期工

程,开展相应的加速器物理和技术的研究。

2.在光谱和光电子能谱方面,重点研究高

温超导材料,纳米晶体和团簇以及磁性薄

膜,并积极发展集成组合技术(Combi技

术),研制新型功能材料。3.借助Wiggler

辐射, 利用X射线精细结构(XAFS)研究

复杂体系的电子态和原子结构,重点选择

有掺入杂质和MS2(M为过渡金属)层状

化合物。4.发展全息术等新的实验技术,

对湿的(有一定活性的)生物样品在亚细

胞水平上进行直接观察。5.发展新型单色仪:研制短波段光栅等同步辐射光学元件。

6.插入元件和自由电子激光研究。

中科大火灾科学国家重点实验室

火灾科学国家重点实验室（中国科学技

术大学）是利用世界银行贷款和国内配套投

资兴建的我国火灾科学基础研究领域唯一的

国家级研究机构。1989年通过立项论证，

1992年获准边建设边对外开放，1995年通

过国家验收。2003年第一次参加工程与材料

领域的29个国家重点实验室评估，被评为“优

秀”类国家重点实验室。2008年国家重点实验

室评估中获优良。2004年，荣获“国家重点实

验室计划先进集体”。

火灾科学国家重点实验室依托中国科学技术大学，利用世界银行贷款和国内配套投资兴建的我国火灾科学基础研究领域唯一的国家级研究机构。1989年通过立项论证，1992年获准边建设边对外开放，1995年通过国家验收。2003年第一次参加工程与材料领域的29个国家重点实验室评估，被评为“优秀”类国家重点实验室。2008年国家重点实验室评估中获优良。2004年，在“国家重点实验室计划实施二十周年和国家重点基础研究发展计划实施五周年纪念大会”上，实验室荣获“国家重点实验室计划先进集体”。在科技部基础研究管理中心为总结国家重点实验室20年建设成就而完成的《国家重点实验室运行分析与发展报告——成就篇》（《中国基础科学》，2006年第1期）的“构建自主创新平台，提升国家科技竞

争能力”

栏目中指出，

“火灾科学国家重点实验室在火灾科学基础研究领域已成为国际知名的研究基地和学术中心”。实验室由科研楼、火灾特殊实验楼、实验二楼、大空间建筑火灾实验厅和室外试验场构成，共投资3000万人民币，近5000平方米的建筑面积。实验室分设建筑火灾、森林火灾、工业火灾、火灾化学、光电技术、计算机模拟与理论分析六个研究室。现任实验室主任范维澄教授、中国工程院院士，中国科技大学副校长；学术委员会主任为两院院士闵桂荣教授。实验室实行主任负责制，学术委员会对学术进行指导，下设有火灾科学编辑部，实验条件部以及办公室。设立有8个研究室：建筑火灾研究室，森林与城市火灾安全研究室，工业火灾研究室，火灾风险评估研究室，火灾化学研究室，火灾监测监控研究室，清洁高效灭火研究室，计算机模拟研究室。

国家排灌水及节水设备产品质量监督检验中心

成立于1981年的安徽省产品质量监督检

验研究院（以下简称安徽省质检院，前身为安

徽省产品质量监督检验所），隶属于安徽省质

量技术监督局。是依法设立的具有第三方公证

地位的综合性质检机构，为国家级重点质检所

之一。目前，本所还设有“安徽省包装产品质

量监督检验所”、“安徽省消费品质量检测服务

中心”两个机构，并于２００１年６月８日经

国家质量监督检验检疫总局批准在本所设立

“国家排灌及节水设备产品质量监督检验中心”。本所于１９９４年通过国家质量技术监督局组织的计量认证、审查认可考核验收，１９９９年通过中国实验室国家认可委员会审查认可，２００１年６月又通过中国实验室国家认可委员会监督审核和扩项工作，先后荣获“全国质量监督工作先进集体”和“合肥市文明单位”称号。本所、中心具有符合检测要求的环境设施和仪器设备，具有排灌及节水设备、五金机械产品、建筑装饰材料、包装材料、家具、家用电器、灯具、低压电器、电线电缆、电机、水泵、橡胶、塑料、皮革制品、各类化肥、农药、石油制品、化妆品、食品、饮料、饲料、黄金珠宝等约１０００余种产品的检验能力。

本中心主要职能是依据《中华人民共

和国标准化法》、《中华人民共和国产品质

量法》等有关法律、法规和有关标准开展

如下工作：1. 承担指定或授权产（商）品

的各种检验：（1）产（商）品的质量监督

检验；产品质量统检；定期监督检验；（2）

受有关部门委托对实行认证、许可证的产

品进行检验；（

3）承担产品质量分等分级检验；新产品鉴定检验；（4）接受委托、承担产（商）品质量鉴定、仲裁检验；（5）承担产品广告质量证明检验；企业申请营业执照产品质量检验；

（6）标准制、修订工作中的验证检验；（7）其他委托检验。２．研究开发新的检验技术、检验方法和检验仪器设备；３．承担或参与国家标准、行业标准或专业标准的制、修订工作；４．对下级同类检验机构进行技术指导和人员培训；５．受有关部门委托参与企业质量体系认证、产品认证、生产许可证的企业质量体系审查；６．向各级技术监督部门及企业主管部门反映被检企业的质量状况；７．开展质量体系和检验技术方面的技术咨询。

中心经中国能效标识管理中心的审核备案，成为首批中小型三相异步电动机能效标识备案检测实验室，承担中国质量认证中心（CQC）水泵、电机、太阳能热水器等节能认证检验、城镇生活节水产品（坐便器、水嘴、淋浴房、水箱配件等）的节水认证检验。也是澳大利亚WaterMark认证和WELS认证的授权检测实验室、美国IAPMO公司开展的美国UPC认证和加拿大CUPC认证的授权检测实验室、英国恩可埃认证有限公司（NQA）授权检测实验室。其中，澳大利亚WaterMark认证和美国UPC认证已为广东、浙江、福建等地卫生洁具陶瓷行业产品出口提供服务。

安徽六方深冷股份有限公司

安徽六方深冷股份有限公司是集科研、

生产、经营为一体的高新技术企业，原名为

合肥西城高技术有限责任公司，2001年更

名为安徽六方深冷股份公司。公司业务领域

为气体制造业，产品涉及超导低温系统、各

类特种稀有气体、低温气体成套设备等，现

已形成集深低温、高压力、高真空三大技术

相互交叉，以高新技术与传统产业有效嫁接

而成的产品链，业务范围覆盖全国乃至香港、日本地区。

公司业务领域为气体制造业，产品涉及超导低温系统、各类特种稀有气体、低温气体成套设备等，现已形成集深低温、高压力、高真空三大技术相互交叉，以高新技术与传统产业有效嫁接而成的产品链，业务范围覆盖全国乃至香港、日本地区。成立几年，公司一直处于超常规发展状态，企业年利润增长超过300％，先后被评为“科技先导型企业”，“安徽明星企业”，自1999年起进入安徽省民营企业五十强，并通过ISO9001质量管理体系认证，其自行研制的供气系统成套设备，曾先后被认定为“安徽省高新技术产品”、“国家重点新产品”、“安徽省火炬计划项目”。其中，主要产品低温成套设备市场占有率超过13％，液氦年进口量80万升，占国内市场份额的45％，居全国同行首列。产品遍及氮肥、石油、化工、啤酒、医药、水泥、环保、冶金、橡胶等行业；覆盖除台湾、西藏以外的全国各省、市；对外合作涉

及伊朗、意大利、芬兰、

德国、

美国、

日本、韩国、印尼、智利等国家的项目或者工程公司。

合肥精大仪表股份有限公司

合肥精大仪表股份有限公司是一家现代高科技股份制企业，是由原国家大型二档企业合肥仪表总厂改制而成。企业有着50多年专业流量仪表生产历史，现为中国流量仪表协会副理事长单位、中国石油总公司一级供应商、中国石化总公司战略伙伴合作单位。

公司现有员工460余人，拥有各类专业技术人员130多人。拥有各类专业加工设备600余台（套），有国内一流的油、水、气校验装置，有国内先进水平的数控机床和加工设备，并设有省级技术中心和安徽省流量仪表检定站。我企业的产品主要适用于石油、化工、冶金、军工、核电、食品、轻纺、船舶、热电、污水处理等行业。其中LC-OI系列椭圆齿轮流量计曾被原国家机械部军工司、中国船舶总公司、中国石化总公司列为进口替代产品；LC-OI50椭圆齿轮流量计曾荣获国内工业控制仪表唯一国优金牌奖，并为我国的卫星发射、远程导弹发射试验及秦山核电站、大亚湾核电站等国家重点工程做出了重要贡献。公司是目前国内流量仪表最大专业制造商，产品已覆盖全国29个省市自治区和20多个国家、地区，产品的出口也在逐年大幅递增。有近100人的市场营销队伍分布在全国各地。还在上海、北京、广州、杭州、西安、武汉、成都等13个中心城市建立了驻外办事处，开展产品销售和质量追踪。此外我公司还与中国科技大学、安徽大学、合肥工业大学等高校保持技术合作，大大地提高了我国工业控制仪表技术水平。

安徽万瑞冷电科技有限公司

安徽万瑞冷电科技有限公司是一家专

业从事低温制冷、低温真空设备及系统研